Silicon device processing : proceedings of a symposium held at Gaithersburg, Maryland, June 2-3, 1970 /

Detalles Bibliográficos
Autores Corporativos:	Symposium on Silicon Device Processing Gaithersburg, E.U.A, American Society for Testing and Materials . Committee F-1 on Materials for Electron Devices and Micro-electronics
Otros Autores:	Marsden, Charles P
Formato:	Procedimiento de la Conferencia Libro
Idioma:	Ingles
Publicado:	Washington : For sale by the Supt. of Docs., U.S. G.P.O., 1970.
Colección:	Special publ. / E.U.A. National Bureau of Standards; 337
Materias:	Silicón > Congresos.

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